一种用于线性蒸发源中的坩埚及线性蒸发源

被引：0

申请号：

CN202011485451.0

申请日：

2020-12-16

公开(公告)号：

CN114635107A

公开(公告)日：

2022-06-17

发明(设计)人：

曹景博李浩永李文浩

申请人：

申请人地址：

230013 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1412 H01L5156

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

张燕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20201216
2022-06-17	公开	公开

共 50 条

[1]

线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

王卫卫 ;

李俊峰 ;

何麟 .

中国专利 :CN108754448A ,2018-11-06

[2]

一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

张金中 .

中国专利 :CN205443432U ,2016-08-10

[3]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921B ,2025-11-18

[4]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921A ,2025-10-17

[5]

一种线性蒸发源 [P].

彭兆基 ;

张伸福 .

中国专利 :CN104561905A ,2015-04-29

[6]

一种线性蒸发源装置 [P].

杨春雷 ;

梁博文 ;

李伟民 ;

陈璐璐 ;

邵兴超 ;

张杰 ;

李松 ;

王赛强 ;

贺晗倬 .

中国专利 :CN117845170A ,2024-04-09

[7]

单点线性蒸发源系统 [P].

林进志 ;

周皓煜 ;

黄俊允 .

中国专利 :CN104099570B ,2014-10-15

[8]

一种线性蒸发源单元及多蒸发源间隔蒸镀装置 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN119040811A ,2024-11-29

[9]

一种线性蒸发源单元及多蒸发源间隔蒸镀装置 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN119040811B ,2025-02-18

[10]

一种OLED线性蒸发源装置 [P].

黄俊允 .

中国专利 :CN203904446U ,2014-10-29

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