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一种线性蒸发源装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311614719.X
申请日：
2023-11-28
公开(公告)号：
CN117845170A
公开(公告)日：
2024-04-09
发明(设计)人：
杨春雷 梁博文 李伟民 陈璐璐 邵兴超 张杰 李松 王赛强 贺晗倬
申请人：
深圳先进技术研究院
申请人地址：
518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
IPC主分类号：
C23C14/24
IPC分类号：
代理机构：
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316
代理人：
刘建伟
法律状态：
公开
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-09 公开 公开
2024-04-26 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/24申请日:20231128
共 50 条
[1]
线性蒸发源及蒸发装置 [P]. 
陈海涛 .
中国专利 :CN108531866A ,2018-09-14
[2]
高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P]. 
杨一新 .
中国专利 :CN120796921B ,2025-11-18
[3]
高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P]. 
杨一新 .
中国专利 :CN120796921A ,2025-10-17
[4]
一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P]. 
张金中 .
中国专利 :CN205443432U ,2016-08-10
[5]
一种用于线性蒸发源中的坩埚及线性蒸发源 [P]. 
曹景博 ;
李浩永 ;
李文浩 .
中国专利 :CN114635107A ,2022-06-17
[6]
一种蒸发源加热装置及其蒸发源 [P]. 
曹景博 ;
张红信 .
中国专利 :CN221421204U ,2024-07-26
[7]
线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P]. 
王卫卫 ;
李俊峰 ;
何麟 .
中国专利 :CN108754448A ,2018-11-06
[8]
一种线性蒸发源设备 [P]. 
李剑飞 ;
刘华林 ;
郝文涛 ;
王超 ;
黄小卫 .
中国专利 :CN118563262A ,2024-08-30
[9]
一种线性蒸发源设备 [P]. 
李剑飞 ;
刘华林 ;
郝文涛 ;
王超 ;
黄小卫 .
中国专利 :CN118563262B ,2024-10-01
[10]
一种OLED线性蒸发源结构 [P]. 
林文晶 ;
彭勃 .
中国专利 :CN108103442A ,2018-06-01
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