基板处理装置及处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410027658.8

申请日：

2004-06-11

公开(公告)号：

CN1707314A

公开(公告)日：

2005-12-14

发明(设计)人：

詹育颖王敬龙许文诚曾增魁邓振坤谢和利

申请人：

申请人地址：

518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

G02F1133

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-06-25	授权	授权
2019-05-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F 1/133 申请日:20040611 授权公告日:20080625 终止日期:20180611
2005-12-14	公开	公开
2007-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

大宅宗明 ;

北村翔也 .

日本专利 :CN117393462A ,2024-01-12

[2]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN119381291B ,2025-11-25

[3]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

伊藤明 ;

永井泰彦 ;

秋山刚志 ;

山本滋 ;

岩田敬次 .

日本专利 :CN119673798A ,2025-03-21

[4]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

安陪裕滋 .

中国专利 :CN111715473B ,2020-09-29

[5]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

尾辻正幸 .

中国专利 :CN107437516A ,2017-12-05

[6]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

宫崎邦浩 ;

南健治 ;

长岛裕次 ;

林航之介 .

中国专利 :CN108461427A ,2018-08-28

[7]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

佐佐木悠太 ;

塙洋祐 .

中国专利 :CN108242416A ,2018-07-03

[8]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

太田乔 ;

林昌之 ;

奥田次郎 ;

中岛章宏 .

中国专利 :CN108630568B ,2018-10-09

[9]

基板处理方法及基板处理装置 [P].

尾辻正幸 .

中国专利 :CN107924834B ,2018-04-17

[10]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

西村优大 ;

小林健司 ;

根来世 .

中国专利 :CN110140198A ,2019-08-16

← 1 2 3 4 5 →