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等离子体熔覆装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201320597118.8
申请日
:
2013-09-26
公开(公告)号
:
CN203530432U
公开(公告)日
:
2014-04-09
发明(设计)人
:
韦学运
杨思泽
申请人
:
申请人地址
:
100088 北京市海淀区蓟门里和景园1-2-502号
IPC主分类号
:
C23C2410
IPC分类号
:
代理机构
:
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人
:
汤东凤
法律状态
:
专利权的终止
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2017-11-10
专利权的终止
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 24/10 申请日:20130926 授权公告日:20140409 终止日期:20160926
2014-04-09
授权
授权
共 50 条
[1]
等离子体处理装置及等离子体处理方法
[P].
奥村智洋
论文数:
0
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0
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奥村智洋
;
中山一郎
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中山一郎
;
川浦广
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川浦广
;
幸本彻哉
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幸本彻哉
.
中国专利
:CN102387653A
,2012-03-21
[2]
等离子熔覆装置
[P].
范立国
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0
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0
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0
范立国
.
中国专利
:CN208701211U
,2019-04-05
[3]
等离子体喷枪
[P].
鲁伟员
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鲁伟员
;
李信
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李信
;
杨义乐
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杨义乐
.
中国专利
:CN106269332B
,2017-01-04
[4]
等离子体模块
[P].
雷四财
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雷四财
;
马爱民
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马爱民
.
中国专利
:CN114244127A
,2022-03-25
[5]
等离子体装置
[P].
苏恒毅
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苏恒毅
.
中国专利
:CN108882494B
,2018-11-23
[6]
等离子体处理装置、等离子体处理方法
[P].
舆水地盐
论文数:
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舆水地盐
.
中国专利
:CN101908460A
,2010-12-08
[7]
等离子体装置和等离子体沉积设备
[P].
李翔
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
李翔
;
种展鹏
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
种展鹏
;
袁红霞
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
袁红霞
;
王娟
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
王娟
;
姚俊
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
姚俊
.
中国专利
:CN119943637B
,2025-11-04
[8]
等离子体装置和等离子体沉积设备
[P].
李翔
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
李翔
;
种展鹏
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
种展鹏
;
袁红霞
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0
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
袁红霞
;
王娟
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
王娟
;
姚俊
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
姚俊
.
中国专利
:CN119943637A
,2025-05-06
[9]
等离子体喷镀头、等离子体喷镀装置及等离子体喷镀方法
[P].
小林義之
论文数:
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引用数:
0
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小林義之
.
中国专利
:CN109023215A
,2018-12-18
[10]
等离子体处理装置和等离子体蚀刻装置
[P].
永海幸一
论文数:
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机构:
东京毅力科创株式会社
东京毅力科创株式会社
永海幸一
;
永关一也
论文数:
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机构:
东京毅力科创株式会社
东京毅力科创株式会社
永关一也
.
日本专利
:CN118156181A
,2024-06-07
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