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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-14 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/822 申请日:20060929 授权公告日:20130109 终止日期:20200929 |
| 2013-01-09 | 授权 | 授权 |
| 2008-10-01 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-23 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/822 登记生效日:20200603 变更事项:专利权人 变更前权利人:松下电器产业株式会社 变更后权利人:松下半导体解决方案株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本大阪府 变更后权利人:日本京都府 |
| 2009-04-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |