在氮气下铸造氮浓度可控的掺氮多晶硅的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200910099996.5
申请日
2009-06-24
公开(公告)号
CN101597792A
公开(公告)日
2009-12-09
发明(设计)人
杨德仁 余学功 阙端麟
申请人
申请人地址
310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号
IPC主分类号
C30B2806
IPC分类号
C30B2906
代理机构
杭州天勤知识产权代理有限公司
代理人
胡红娟
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
氮气下融硅掺氮制备铸造多晶硅的方法 [P]. 
杨德仁 ;
余学功 ;
阙端麟 .
中国专利 :CN101597790A ,2009-12-09
[2]
在氮气下铸造氮浓度可控的掺氮单晶硅的方法 [P]. 
余学功 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN101597787B ,2009-12-09
[3]
在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅的方法 [P]. 
余学功 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN101597788B ,2009-12-09
[4]
掺氮的定向凝固铸造多晶硅及其制备方法 [P]. 
杨德仁 ;
余学功 ;
阙端麟 .
中国专利 :CN101597791A ,2009-12-09
[5]
多晶硅融化掺氮直拉生长微氮硅单晶的方法 [P]. 
李立本 ;
杨德仁 ;
阙端麟 .
中国专利 :CN1190527C ,2003-06-11
[6]
掺氮P型硅母合金及制备方法、掺氮多晶硅锭及制备方法 [P]. 
李煜燚 ;
翟传鑫 ;
李飞龙 ;
熊震 ;
朱军 .
中国专利 :CN112251805A ,2021-01-22
[7]
多晶硅锭铸造用铸模及其制造方法和多晶硅锭的铸造方法 [P]. 
矶村敬一郎 ;
山崎宽司 ;
齐藤刚 .
中国专利 :CN103225105A ,2013-07-31
[8]
掺氮的定向凝固铸造单晶硅及其制备方法 [P]. 
余学功 ;
杨德仁 .
中国专利 :CN101591807A ,2009-12-02
[9]
氮气氛生长氮浓度可控微氮直拉硅单晶的方法 [P]. 
杨德仁 ;
李立本 ;
田达晰 ;
马向阳 ;
沈益军 ;
阙端麟 .
中国专利 :CN1190529C ,2003-06-11
[10]
多晶硅锭制造方法、多晶硅锭的用途的制造方法和多晶硅锭 [P]. 
大石隆一 .
中国专利 :CN106794993A ,2017-05-31