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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2000-05-31 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2007-11-21 | 授权 | 授权 |
| 2000-06-28 | 公开 | 公开 |
| 2014-07-02 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101583283227 IPC(主分类):H01L 29/786 专利号:ZL991202597 申请日:19940526 授权公告日:20071121 期满终止日期:20140526 |