磁栅尺设备和位置测量设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920640035.X

申请日：

2019-05-07

公开(公告)号：

CN210051288U

公开(公告)日：

2020-02-11

发明(设计)人：

丁兆洋费利克斯.格里姆

申请人：

申请人地址：

江苏省无锡市太湖街道富力十号C区，3-1802

IPC主分类号：

G01B700

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

张银英

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-11	授权	授权

共 50 条

[21]

位置测量方法、位置测量设备、光刻设备以及装置制造方法、光学元件 [P].

J·克洛泽 ;

A·登博夫 ;

S·马蒂杰森 .

中国专利 :CN104321703B ,2015-01-28

[22]

位置测量设备和设定倾斜的回转激光设备 [P].

熊谷薰 ;

大友文夫 ;

西正之 .

中国专利 :CN1250870A ,2000-04-19

[23]

用于测量绝对位置的位置测量设备 [P].

彼德·费舍尔 ;

曼弗雷德·赫茨 ;

克里斯蒂安·克勒 ;

克里斯蒂安·瓦赫特 ;

哈特穆特·舍纳 .

中国专利 :CN113366282A ,2021-09-07

[24]

光学位置测量设备 [P].

W·霍尔茨阿普费尔 .

中国专利 :CN102589420A ,2012-07-18

[25]

感应型位置测量设备 [P].

辻胜三郎 ;

前田不二雄 .

中国专利 :CN104819682B ,2015-08-05

[26]

光学位置测量设备 [P].

M.希梅尔 ;

J.韦齐希 ;

T.于内曼 .

中国专利 :CN103837177A ,2014-06-04

[27]

光学位置测量设备 [P].

M·赫尔曼 .

中国专利 :CN102138060A ,2011-07-27

[28]

光学位置测量设备 [P].

W.霍尔扎普费尔 ;

M.赫尔曼 ;

K.森迪希 .

中国专利 :CN102288113A ,2011-12-21

[29]

位置姿势测量设备和位置姿势测量方法 [P].

小林一彦 ;

内山晋二 .

中国专利 :CN102410832B ,2012-04-11

[30]

磁栅尺(超薄) [P].

罗思青 .

中国专利 :CN308592504S ,2024-04-19

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