一种多层超结半导体器件的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010868843.9
申请日
2020-08-25
公开(公告)号
CN111863623A
公开(公告)日
2020-10-30
发明(设计)人
任杰 马治军 苏海伟
申请人
申请人地址
201323 上海市浦东新区祝桥镇施湾七路1001号2幢
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L2906 H01L29786
代理机构
上海申新律师事务所 31272
代理人
党蕾
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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