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一种多层超结半导体器件的制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010868843.9
申请日
:
2020-08-25
公开(公告)号
:
CN111863623A
公开(公告)日
:
2020-10-30
发明(设计)人
:
任杰
马治军
苏海伟
申请人
:
申请人地址
:
201323 上海市浦东新区祝桥镇施湾七路1001号2幢
IPC主分类号
:
H01L21336
IPC分类号
:
H01L2906
H01L29786
代理机构
:
上海申新律师事务所 31272
代理人
:
党蕾
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-10-30
公开
公开
2020-11-17
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20200825
共 50 条
[41]
一种超结半导体器件
[P].
朱袁正
论文数:
0
引用数:
0
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0
朱袁正
;
李宗清
论文数:
0
引用数:
0
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0
李宗清
.
中国专利
:CN204706567U
,2015-10-14
[42]
一种超结半导体器件
[P].
张志
论文数:
0
引用数:
0
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0
张志
;
周伟伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
周伟伟
.
中国专利
:CN216488021U
,2022-05-10
[43]
一种半导体器件的制备方法及半导体器件
[P].
李立伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
李立伟
;
论文数:
引用数:
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机构:
杨云春
;
陆原
论文数:
0
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0
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0
机构:
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
陆原
;
郭伟龙
论文数:
0
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0
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0
机构:
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
郭伟龙
;
肖文贺
论文数:
0
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0
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0
机构:
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
肖文贺
;
谷佩霞
论文数:
0
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0
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机构:
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
谷佩霞
;
陈学志
论文数:
0
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0
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0
机构:
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
陈学志
;
李佩笑
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
李佩笑
.
中国专利
:CN115188707B
,2025-07-29
[44]
一种半导体器件的制备方法及半导体器件
[P].
贾涛
论文数:
0
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0
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0
机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
贾涛
;
林子荏
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
林子荏
;
李文超
论文数:
0
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0
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0
机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
李文超
;
林政纬
论文数:
0
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0
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0
机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
林政纬
;
杨智强
论文数:
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0
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0
机构:
合肥晶合集成电路股份有限公司
合肥晶合集成电路股份有限公司
杨智强
.
中国专利
:CN121001387A
,2025-11-21
[45]
一种半导体器件的制备方法及半导体器件
[P].
金玄永
论文数:
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0
金玄永
;
郭挑远
论文数:
0
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0
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0
郭挑远
;
徐康元
论文数:
0
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0
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0
徐康元
;
高建峰
论文数:
0
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0
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高建峰
;
范正萍
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0
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0
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范正萍
;
杨涛
论文数:
0
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0
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0
杨涛
;
王文武
论文数:
0
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0
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0
王文武
;
李俊峰
论文数:
0
引用数:
0
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0
李俊峰
.
中国专利
:CN114446885A
,2022-05-06
[46]
一种半导体器件的制备方法及半导体器件
[P].
卢珂
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
卢珂
;
柳会雄
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
柳会雄
;
李光煜
论文数:
0
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0
h-index:
0
机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
李光煜
.
中国专利
:CN119698057A
,2025-03-25
[47]
一种超结器件的制备方法
[P].
马荣耀
论文数:
0
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0
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0
马荣耀
;
刘春华
论文数:
0
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0
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0
刘春华
.
中国专利
:CN107665920A
,2018-02-06
[48]
一种半导体器件的制造方法
[P].
黄晓波
论文数:
0
引用数:
0
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0
黄晓波
;
宋向东
论文数:
0
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0
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0
宋向东
.
中国专利
:CN114050135A
,2022-02-15
[49]
制造超结半导体器件的方法
[P].
大井明彦
论文数:
0
引用数:
0
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0
大井明彦
.
中国专利
:CN102280383A
,2011-12-14
[50]
制造超结半导体器件的方法
[P].
儿玉奈绪子
论文数:
0
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0
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儿玉奈绪子
.
中国专利
:CN102254850A
,2011-11-23
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