制备顶部抗反射膜的组合物、顶部抗反射膜和含氟组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210011889.8

申请日：

2022-01-07

公开(公告)号：

CN114035405B

公开(公告)日：

2022-02-11

发明(设计)人：

李永斌

申请人：

申请人地址：

730900 甘肃省白银市白银区兰包路333号（08）5幢1-01（孵化器基地）科研一号楼306室

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F709

代理机构：

北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888

代理人：

汪勇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-22	授权	授权
2022-02-11	公开	公开
2022-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20220107

共 50 条

[1]

抗反射组合物和抗反射膜及其应用 [P].

李禾禾 ;

毛鸿超 ;

王静 ;

曾成财 ;

郑瑞森 ;

林伟城 ;

宋里千 ;

安辉 ;

赵永红 ;

肖楠 .

中国专利 :CN119758666B ,2025-10-10

[2]

抗反射组合物和抗反射膜及其应用 [P].

李禾禾 ;

毛鸿超 ;

王静 ;

曾成财 ;

郑瑞森 ;

林伟城 ;

宋里千 ;

安辉 ;

赵永红 ;

肖楠 .

中国专利 :CN119758666A ,2025-04-04

[3]

一种顶部抗反射涂层组合物 [P].

马晓明 ;

王健 .

中国专利 :CN113913060B ,2022-01-11

[4]

顶部抗反射涂料聚合物、制法及顶部抗反射涂料组合物 [P].

郑儎昌 ;

卜喆圭 ;

林昌文 ;

文承灿 .

中国专利 :CN1916764B ,2007-02-21

[5]

顶部抗反射涂层组合物、形成图案的方法以及顶部抗反射涂层 [P].

仓本胜利 ;

小林政一 ;

秋山靖 .

中国专利 :CN101568991B ,2009-10-28

[6]

抗反射硬掩膜组合物 [P].

尹熙灿 ;

金相均 ;

林相学 ;

鱼东善 ;

金钟涉 ;

李镇国 ;

吴昌一 ;

金旼秀 ;

邢敬熙 ;

南伊纳 .

中国专利 :CN101449207B ,2009-06-03

[7]

抗反射硬掩膜组合物 [P].

崔相俊 .

中国专利 :CN110361931B ,2019-10-22

[8]

一种梯形结构顶部抗反射涂层聚合物和顶部抗反射涂层组合物及其制备方法 [P].

王雪枫 ;

肖楠 ;

王静 ;

宋里千 ;

毛鸿超 .

中国专利 :CN114195989A ,2022-03-18

[9]

一种梯形结构顶部抗反射涂层聚合物和顶部抗反射涂层组合物及其制备方法 [P].

王雪枫 ;

肖楠 ;

王静 ;

宋里千 ;

毛鸿超 .

中国专利 :CN114195989B ,2024-03-15

[10]

抗反射组合物 [P].

A·蓝匹尼 ;

M·道肯托 ;

R·H·哥利 .

中国专利 :CN1628269A ,2005-06-15

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