单晶硅片及多晶硅片PECVD设备

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201530137494.3

申请日：

2015-05-12

公开(公告)号：

CN303454395S

公开(公告)日：

2015-11-18

发明(设计)人：

邓金生

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号涌鑫工业园D栋三楼

IPC主分类号：

1509

IPC分类号：

代理机构：

深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247

代理人：

胡朝阳;孙洁敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	授权	授权

共 50 条

[1]

单晶硅片及多晶硅片链式清洗设备 [P].

周业青 ;

左国军 .

中国专利 :CN302772895S ,2014-03-26

[2]

单晶硅片及多晶硅片高温扩散炉设备 [P].

杨宝立 .

中国专利 :CN303455956S ,2015-11-18

[3]

水溶性单晶硅片或多晶硅片切削液 [P].

方永勤 ;

许亮 ;

吴余冬 .

中国专利 :CN102021070B ,2011-04-20

[4]

单晶硅片 [P].

沈浩平 ;

李建弘 ;

危晨 ;

刘涛 ;

赵越 .

中国专利 :CN306223259S ,2020-12-11

[5]

单晶硅片及单晶硅片的处理方法 [P].

李厚 ;

陆爱军 ;

徐雪明 .

中国专利 :CN120060974A ,2025-05-30

[6]

一种保证多晶硅片或类单晶硅片质量稳定性的方法 [P].

刘世龙 ;

张泽兴 ;

路景刚 .

中国专利 :CN109585275A ,2019-04-05

[7]

单晶/多晶硅片的清洗方法 [P].

吴雄杰 ;

高海军 ;

饶伟星 ;

王飞尧 ;

肖型奎 ;

赵文辉 .

中国专利 :CN101700520A ,2010-05-05

[8]

单晶硅片切割设备 [P].

司云峰 ;

严霁云 ;

李杰 ;

成路 .

中国专利 :CN205112119U ,2016-03-30

[9]

直角单晶硅片 [P].

陈立民 ;

刘雷 ;

陈鹏 ;

杨广宇 ;

赵亮 .

中国专利 :CN201681949U ,2010-12-22

[10]

单晶硅片盒 [P].

钟平 .

中国专利 :CN204668284U ,2015-09-23

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