一种磁控溅射设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820969086.2

申请日：

2018-06-22

公开(公告)号：

CN208762572U

公开(公告)日：

2019-04-19

发明(设计)人：

刘洋汪振南雷绍温杨永雷见东伟张伟邬英刘福山韩晓琳

申请人：

申请人地址：

037000 山西省大同市云州街东延北侧7899号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447

代理人：

陈庆超;桑传标

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20221116 变更事项:专利权人变更前权利人:山西米亚索乐装备科技有限公司变更后权利人:汉瓦技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:037000 山西省大同市云州街东延北侧7899号变更后权利人:510663 广东省广州市黄埔区科学大道111号附楼229房（仅限办公）
2019-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磁控溅射靶材、磁控溅射靶及磁控溅射设备 [P].

魏钰 ;

宋博韬 ;

成军 ;

刘宁 .

中国专利 :CN205934012U ,2017-02-08

[2]

一种磁控溅射靶与磁控溅射设备 [P].

陈岩 ;

杜晓健 ;

高博 .

中国专利 :CN202786406U ,2013-03-13

[3]

一种磁控溅射传动装置及磁控溅射设备 [P].

曹峻峰 ;

张伟建 ;

王星辰 ;

狄贺 ;

凡伟伟 ;

陆黎华 .

中国专利 :CN220300836U ,2024-01-05

[4]

一种磁控溅射装置和磁控溅射设备 [P].

李皓瑜 ;

刘宇翔 ;

张建红 ;

朱之贞 ;

胡建明 ;

陈权 ;

杨津听 ;

李坤伦 ;

柴大克 ;

孙胜凡 ;

丁洁 ;

周雄飞 ;

聂川滨 ;

杨红飞 ;

俞云坤 ;

曾仁武 .

中国专利 :CN208604202U ,2019-03-15

[5]

一种磁控溅射阴极装置及磁控溅射设备 [P].

张永胜 ;

解传佳 ;

周振国 ;

武瑞军 ;

彭孝龙 ;

莫超超 .

中国专利 :CN115537747B ,2024-04-23

[6]

一种磁控溅射阴极装置及磁控溅射设备 [P].

张永胜 ;

解传佳 ;

周振国 ;

武瑞军 ;

彭孝龙 ;

莫超超 .

中国专利 :CN115537747A ,2022-12-30

[7]

磁控溅射装置和磁控溅射设备 [P].

毛瑞锋 ;

金相起 ;

程贯杰 ;

李阳阳 ;

王宜申 .

中国专利 :CN206706198U ,2017-12-05

[8]

磁控溅射装置及磁控溅射设备 [P].

胡小波 ;

张晓军 ;

李佳小龙 ;

谢明辉 .

中国专利 :CN223561668U ,2025-11-18

[9]

一种磁控溅射靶座及磁控溅射设备 [P].

杨明 ;

王子彤 ;

解庆权 ;

王刚 ;

邢雪 ;

刘畅 ;

王磊 ;

石也琛 .

中国专利 :CN222226526U ,2024-12-24

[10]

磁控溅射装置及磁控溅射设备 [P].

胡小波 ;

张晓军 .

中国专利 :CN222182418U ,2024-12-17

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