等离子体处理装置及等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02105984.5

申请日：

2002-04-11

公开(公告)号：

CN1175477C

公开(公告)日：

2002-11-20

发明(设计)人：

岩井哲博古川良太

申请人：

申请人地址：

日本国大阪府

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汪惠民

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101582610406 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利号:ZL021059845 申请日:20020411 授权公告日:20041110 终止日期:20130411
2004-11-10	授权	授权
2003-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2002-11-20	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置、及等离子体处理方法 [P].

吉森大晃 ;

嘉瀬庆久 ;

中泽和辉 .

中国专利 :CN115116813A ,2022-09-27

[2]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

具滋明 ;

肖特拉克尔言 ;

具重谟 ;

赵台勋 .

韩国专利 :CN112151344B ,2024-07-09

[3]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

具滋明 ;

肖特拉克尔言 ;

具重谟 ;

赵台勋 .

中国专利 :CN112151344A ,2020-12-29

[4]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

三浦繁博 ;

加藤寿 ;

佐藤润 ;

中坪敏行 ;

菊地宏之 .

中国专利 :CN105097459A ,2015-11-25

[5]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

药师神弘士 ;

渡边勇人 ;

芝本雅弘 .

中国专利 :CN111328469B ,2020-06-23

[6]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

菊池亨 ;

神保洋介 ;

茶谷宏纪 ;

西方靖 ;

龟崎厚治 .

中国专利 :CN110832624A ,2020-02-21

[7]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

周虎 ;

刘身健 ;

谢小兵 ;

严利均 .

中国专利 :CN106937472A ,2017-07-07

[8]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

菊池亨 ;

神保洋介 ;

茶谷宏纪 ;

西方靖 ;

龟崎厚治 .

日本专利 :CN110832624B ,2024-02-27

[9]

等离子体处理装置与等离子体处理方法 [P].

田口典幸 ;

泽田康志 ;

松永浩一 .

中国专利 :CN1611098A ,2005-04-27

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

中西敏雄 ;

西田辰夫 ;

尾崎成则 .

中国专利 :CN101414560A ,2009-04-22

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