光致抗蚀剂剥离液组合物及使用光致抗蚀剂剥离液组合物的光致抗蚀剂的剥离方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410059459.5

申请日：

2004-06-28

公开(公告)号：

CN1577111A

公开(公告)日：

2005-02-09

发明(设计)人：

李赫镇金炳默宋仙英洪宪杓

申请人：

申请人地址：

韩国全罗北道益山市

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

丁香兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-02-09	公开	公开
2006-06-28	授权	授权
2012-09-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101321160436 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL2004100594595 申请日:20040628 授权公告日:20060628 终止日期:20110628

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂剥离液组合物及使用光致抗蚀剂剥离液组合物的光致抗蚀剂的剥离方法 [P].

李赫镇 ;

金炳默 ;

宋仙英 .

中国专利 :CN1577110A ,2005-02-09

[2]

光致抗蚀剂剥离剂组合物以及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

安江秀国 .

中国专利 :CN102124414A ,2011-07-13

[3]

光致抗蚀剂剥离液组合物以及光致抗蚀剂的剥离方法 [P].

大和田拓央 ;

池上薰 .

中国专利 :CN1831654B ,2006-09-13

[4]

光致抗蚀剂剥离用组合物及剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

西岛佳孝 ;

松本昌岳 ;

安江秀国 ;

武井瑞树 .

中国专利 :CN1875326A ,2006-12-06

[5]

光致抗蚀剂剥离液组合物 [P].

许舜范 ;

金炳郁 ;

赵泰杓 ;

尹锡壹 ;

郑世桓 ;

张斗瑛 ;

朴善周 .

中国专利 :CN103631103B ,2014-03-12

[6]

光致抗蚀剂剥离剂及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

邓强 .

中国专利 :CN109254507A ,2019-01-22

[7]

光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

高岛正之 .

中国专利 :CN1677248A ,2005-10-05

[8]

光致抗蚀剂剥离组合物及使用所述组合物剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

朴珉春 ;

闵盛晙 ;

金璟晙 ;

韩熙 ;

权赫俊 .

中国专利 :CN101981511A ,2011-02-23

[9]

光致抗蚀剂剥离组合物 [P].

姜鑫 ;

S·W·金 .

中国专利 :CN114341744A ,2022-04-12

[10]

用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物及剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

朴珉春 ;

闵盛晙 ;

金璟晙 ;

韩熙 ;

高完熙 .

中国专利 :CN101750917A ,2010-06-23

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