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用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物及剥离光致抗蚀剂的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010000570.2
申请日：
2010-01-12
公开(公告)号：
CN101750917A
公开(公告)日：
2010-06-23
发明(设计)人：
朴珉春
闵盛晙
金璟晙
韩熙
高完熙
申请人：
申请人地址：
韩国首尔
IPC主分类号：
G03F742
IPC分类号：
代理机构：
北京北翔知识产权代理有限公司 11285
代理人：
苏萌;钟守期
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-07-11 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101425530038 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2010100005702 公开日:20100623 |
| 2010-06-23 | 公开 | 公开 |
| 2010-08-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101004900862 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2010100005702 申请日:20100112 |