用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物及使用所述剥离剂组合物剥离光致抗蚀剂的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010000401.9

申请日：

2010-01-11

公开(公告)号：

CN101794087A

公开(公告)日：

2010-08-04

发明(设计)人：

闵盛晙权赫俊朴珉春

申请人：

申请人地址：

韩国首尔

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

北京北翔知识产权代理有限公司 11285

代理人：

苏萌;钟守期

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-17	授权	授权
2010-09-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006075327 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2010100004019 申请日:20100111
2010-08-04	公开	公开

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂剥离剂组合物以及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

安江秀国 .

中国专利 :CN102124414A ,2011-07-13

[2]

用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物及剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

朴珉春 ;

闵盛晙 ;

金璟晙 ;

韩熙 ;

高完熙 .

中国专利 :CN101750917A ,2010-06-23

[3]

光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

金俸均 ;

朴弘植 ;

郑在祐 ;

金炳郁 ;

赵泰杓 ;

许舜范 ;

张斗瑛 ;

金东宽 .

中国专利 :CN106873319A ,2017-06-20

[4]

光致抗蚀剂剥离组合物及使用所述组合物剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

朴珉春 ;

闵盛晙 ;

金璟晙 ;

韩熙 ;

权赫俊 .

中国专利 :CN101981511A ,2011-02-23

[5]

光致抗蚀剂剥离剂及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

邓强 .

中国专利 :CN109254507A ,2019-01-22

[6]

光致抗蚀剂剥离液组合物及使用光致抗蚀剂剥离液组合物的光致抗蚀剂的剥离方法 [P].

李赫镇 ;

金炳默 ;

宋仙英 .

中国专利 :CN1577110A ,2005-02-09

[7]

光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

高岛正之 .

中国专利 :CN1677248A ,2005-10-05

[8]

光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

山边崇史 ;

西嶋佳孝 ;

安江秀国 .

中国专利 :CN101681129A ,2010-03-24

[9]

光致抗蚀剂剥离液组合物及使用光致抗蚀剂剥离液组合物的光致抗蚀剂的剥离方法 [P].

李赫镇 ;

金炳默 ;

宋仙英 ;

洪宪杓 .

中国专利 :CN1577111A ,2005-02-09

[10]

光致抗蚀剂剥离液组合物以及光致抗蚀剂的剥离方法 [P].

大和田拓央 ;

池上薰 .

中国专利 :CN1831654B ,2006-09-13

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