光致抗蚀剂剥离剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610685935.7

申请日：

2016-08-18

公开(公告)号：

CN106873319A

公开(公告)日：

2017-06-20

发明(设计)人：

金俸均朴弘植郑在祐金炳郁赵泰杓许舜范张斗瑛金东宽

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道龙仁市

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司 11286

代理人：

孙昌浩;李盛泉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20160818
2017-06-20	公开	公开

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂剥离剂及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

邓强 .

中国专利 :CN109254507A ,2019-01-22

[2]

光致抗蚀剂剥离剂组合物以及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

安江秀国 .

中国专利 :CN102124414A ,2011-07-13

[3]

光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

山边崇史 ;

西嶋佳孝 ;

安江秀国 .

中国专利 :CN101681129A ,2010-03-24

[4]

光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

高岛正之 .

中国专利 :CN1677248A ,2005-10-05

[5]

光致抗蚀剂剥离液组合物 [P].

许舜范 ;

金炳郁 ;

赵泰杓 ;

尹锡壹 ;

郑世桓 ;

张斗瑛 ;

朴善周 .

中国专利 :CN103631103B ,2014-03-12

[6]

用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物及剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

朴珉春 ;

闵盛晙 ;

金璟晙 ;

韩熙 ;

高完熙 .

中国专利 :CN101750917A ,2010-06-23

[7]

用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物及使用所述剥离剂组合物剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

闵盛晙 ;

权赫俊 ;

朴珉春 .

中国专利 :CN101794087A ,2010-08-04

[8]

光致抗蚀剂剥离剂 [P].

高岛正之 .

中国专利 :CN1690865B ,2005-11-02

[9]

正型光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

尹锡壹 ;

金圣培 ;

郑宗铉 ;

朴熙珍 ;

辛成健 ;

张锡唱 ;

金玮溶 ;

许舜范 ;

金柄郁 .

中国专利 :CN101017333A ,2007-08-15

[10]

正型光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

张峰 .

中国专利 :CN102998915A ,2013-03-27

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