光致抗蚀剂剥离组合物

被引：0

申请号：

CN201980099512.9

申请日：

2019-08-30

公开(公告)号：

CN114341744A

公开(公告)日：

2022-04-12

发明(设计)人：

姜鑫 S·W·金

申请人：

申请人地址：

美国密歇根州

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280

代理人：

徐舒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-12	公开	公开
2022-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20190830

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂剥离用组合物及剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

西岛佳孝 ;

松本昌岳 ;

安江秀国 ;

武井瑞树 .

中国专利 :CN1875326A ,2006-12-06

[2]

光致抗蚀剂剥离剂组合物以及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

安江秀国 .

中国专利 :CN102124414A ,2011-07-13

[3]

光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

金俸均 ;

朴弘植 ;

郑在祐 ;

金炳郁 ;

赵泰杓 ;

许舜范 ;

张斗瑛 ;

金东宽 .

中国专利 :CN106873319A ,2017-06-20

[4]

光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

高岛正之 .

中国专利 :CN1677248A ,2005-10-05

[5]

光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

山边崇史 ;

西嶋佳孝 ;

安江秀国 .

中国专利 :CN101681129A ,2010-03-24

[6]

正型光致抗蚀剂剥离剂组合物 [P].

尹锡壹 ;

金圣培 ;

郑宗铉 ;

朴熙珍 ;

辛成健 ;

张锡唱 ;

金玮溶 ;

许舜范 ;

金柄郁 .

中国专利 :CN101017333A ,2007-08-15

[7]

光致抗蚀剂剥离液组合物 [P].

许舜范 ;

金炳郁 ;

赵泰杓 ;

尹锡壹 ;

郑世桓 ;

张斗瑛 ;

朴善周 .

中国专利 :CN103631103B ,2014-03-12

[8]

光致抗蚀剂剥离液组合物以及光致抗蚀剂的剥离方法 [P].

大和田拓央 ;

池上薰 .

中国专利 :CN1831654B ,2006-09-13

[9]

光致抗蚀剂剥离液组合物及使用光致抗蚀剂剥离液组合物的光致抗蚀剂的剥离方法 [P].

李赫镇 ;

金炳默 ;

宋仙英 ;

洪宪杓 .

中国专利 :CN1577111A ,2005-02-09

[10]

光致抗蚀剂剥离组合物及使用所述组合物剥离光致抗蚀剂的方法 [P].

朴珉春 ;

闵盛晙 ;

金璟晙 ;

韩熙 ;

权赫俊 .

中国专利 :CN101981511A ,2011-02-23

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