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蚀刻装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022223982.4
申请日：
2020-09-30
公开(公告)号：
CN212934549U
公开(公告)日：
2021-04-09
发明(设计)人：
林帅
苏财钰
张涛
张彬彬
苟先华
申请人：
申请人地址：
402760 重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
熊永强
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-09 | 授权 | 授权 |