一种垂直结构氮化镓HEMT器件的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011603997.1

申请日：

2020-12-29

公开(公告)号：

CN112713190B

公开(公告)日：

2021-04-27

发明(设计)人：

汪琼穆潘潘吴勇王东陈兴陆俊黄永季亚军孙凯操焰崔傲袁珂陈军飞张进成

申请人：

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市弋江区文津西路8号

IPC主分类号：

H01L29778

IPC分类号：

H01L21335

代理机构：

芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138

代理人：

房文亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	公开	公开
2021-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/778 申请日:20201229
2022-05-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种氮化镓HEMT器件结构及其制备方法 [P].

王东 ;

吴勇 ;

陈兴 ;

汪琼 ;

陆俊 ;

何滇 ;

严伟伟 ;

曾文秀 ;

张进成 .

中国专利 :CN110867488A ,2020-03-06

[2]

氮化镓HEMT器件结构 [P].

程海英 ;

周泽阳 .

中国专利 :CN216871976U ,2022-07-01

[3]

一种氮化镓基HEMT器件的制备方法及氮化镓基HEMT器件 [P].

李亦衡 ;

张葶葶 ;

朱廷刚 ;

朱友华 .

中国专利 :CN109037153A ,2018-12-18

[4]

一种氮化镓HEMT器件结构 [P].

何清源 .

中国专利 :CN120640726A ,2025-09-12

[5]

氮化镓HEMT器件的外延制备方法 [P].

石以瑄 ;

韩露 ;

林平澜 ;

石鹏环 .

中国专利 :CN119894025A ,2025-04-25

[6]

一种耐受功率氮化镓HEMT器件结构及其制备方法 [P].

刘志宏 ;

索淑怡 ;

惠安特 ;

魏宇君 ;

周瑾 ;

冯欣 ;

邢伟川 ;

张进成 ;

郝跃 .

中国专利 :CN121038314A ,2025-11-28

[7]

一种氮化镓HEMT器件及其制备方法 [P].

崔鹏 ;

罗鑫 ;

韩吉胜 ;

汉多科·林纳威赫 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN117613082A ,2024-02-27

[8]

一种氮化镓HEMT器件及其制备方法 [P].

黄汇钦 ;

吴龙江 ;

曾健忠 .

中国专利 :CN115458582A ,2022-12-09

[9]

一种氮化镓HEMT器件及其制备方法 [P].

崔鹏 ;

罗鑫 ;

韩吉胜 ;

汉多科·林纳威赫 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN117613082B ,2024-09-06

[10]

一种氮化镓HEMT器件及其制备方法 [P].

陈兴 ;

黄永 .

中国专利 :CN119317144A ,2025-01-14

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