光掩模坯料、光掩模和制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210329820.6

申请日：

2012-09-07

公开(公告)号：

CN102998894B

公开(公告)日：

2013-03-27

发明(设计)人：

稻月判臣五十岚慎一西川和宏吉川博树

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F132

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

李跃龙

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-30	授权	授权
2014-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587454934 IPC(主分类):G03F 1/32 专利申请号:2012103298206 申请日:20120907
2013-03-27	公开	公开

共 50 条

[1]

光掩模坯料、光掩模坯料制造方法和光掩模制造方法 [P].

高坂卓郎 ;

金子英雄 ;

入江重夫 ;

川浦直树 .

日本专利 :CN109307982B ,2024-09-03

[2]

光掩模坯料、光掩模坯料制造方法和光掩模制造方法 [P].

高坂卓郎 ;

金子英雄 ;

入江重夫 ;

川浦直树 .

中国专利 :CN109307982A ,2019-02-05

[3]

光掩模坯料和制造光掩模的方法 [P].

稻月判臣 ;

笹本纮平 ;

松桥直树 .

日本专利 :CN111308851B ,2025-02-11

[4]

光掩模坯料和制造光掩模的方法 [P].

稻月判臣 ;

笹本纮平 ;

松桥直树 .

中国专利 :CN111308851A ,2020-06-19

[5]

光掩模坯料和光掩模 [P].

小泽良兼 ;

高坂卓郎 ;

稻月判臣 .

日本专利 :CN109212895B ,2024-11-22

[6]

光掩模坯料和光掩模 [P].

小泽良兼 ;

高坂卓郎 ;

稻月判臣 .

中国专利 :CN109212895A ,2019-01-15

[7]

光掩模坯料、光掩模及其制造方法 [P].

吉川博树 ;

稻月判臣 ;

木名濑良纪 ;

冈崎智 ;

原口崇 ;

岩片政秀 ;

福岛祐一 .

中国专利 :CN1763632B ,2006-04-26

[8]

光掩模坯料及光掩模的制造方法 [P].

深谷创一 ;

中川秀夫 ;

笹本纮平 .

中国专利 :CN103424983A ,2013-12-04

[9]

光掩模坯料及光掩模 [P].

吉川博树 ;

稻月判臣 ;

冈崎智 ;

原口崇 ;

岩片政秀 ;

高木干夫 ;

福岛祐一 ;

佐贺匡 .

中国专利 :CN101052917B ,2007-10-10

[10]

光掩模坯料和制备光掩模的方法 [P].

稻月判臣 ;

笹本纮平 ;

松桥直树 .

日本专利 :CN109782527B ,2024-06-25

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