光掩模坯料、光掩模及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510112619.2

申请日：

2005-10-11

公开(公告)号：

CN1763632B

公开(公告)日：

2006-04-26

发明(设计)人：

吉川博树稻月判臣木名濑良纪冈崎智原口崇岩片政秀福岛祐一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F108

IPC分类号：

G03F114 H01L21027

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

杨宏军

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-04-26	公开	公开
2007-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-02-16	授权	授权

共 50 条

[1]

光掩模坯料、光掩模和制造方法 [P].

稻月判臣 ;

五十岚慎一 ;

西川和宏 ;

吉川博树 .

中国专利 :CN102998894B ,2013-03-27

[2]

光掩模坯料和制造光掩模的方法 [P].

稻月判臣 ;

笹本纮平 ;

松桥直树 .

日本专利 :CN111308851B ,2025-02-11

[3]

光掩模坯料和制造光掩模的方法 [P].

稻月判臣 ;

笹本纮平 ;

松桥直树 .

中国专利 :CN111308851A ,2020-06-19

[4]

光掩模坯料及光掩模 [P].

吉川博树 ;

稻月判臣 ;

冈崎智 ;

原口崇 ;

岩片政秀 ;

高木干夫 ;

福岛祐一 ;

佐贺匡 .

中国专利 :CN101052917B ,2007-10-10

[5]

光掩模坯料及其制造方法 [P].

笹本纮平 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN113867097A ,2021-12-31

[6]

相位偏移光掩模坯料、相位偏移光掩模及其制造方法 [P].

稻月判臣 ;

吉川博树 ;

丸山保 ;

冈崎智 .

中国专利 :CN1862377A ,2006-11-15

[7]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN113391515B ,2025-02-25

[8]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113391515A ,2021-09-14

[9]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

中国专利 :CN111258175A ,2020-06-09

[10]

光掩模坯料 [P].

樱井敬佑 ;

宫岛千晶 ;

金子英雄 .

日本专利 :CN121050172A ,2025-12-02

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