绝缘体上应变硅异质结的无损检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200610165285.X
申请日
2006-12-15
公开(公告)号
CN101201330A
公开(公告)日
2008-06-18
发明(设计)人
马通达 屠海令 胡广勇 孙泽明 邵贝羚 刘安生
申请人
申请人地址
100088北京市新街口外大街2号
IPC主分类号
G01N23207
IPC分类号
G01N23205
代理机构
北京北新智诚知识产权代理有限公司
代理人
郭佩兰
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
绝缘体上应变硅结构的制造方法 [P]. 
A·M·琼斯 ;
L·费 .
中国专利 :CN101292341A ,2008-10-22
[2]
一种绝缘体上应变硅制备方法 [P]. 
张苗 ;
张波 ;
王曦 ;
薛忠营 ;
魏星 ;
武爱民 .
中国专利 :CN101916741B ,2010-12-15
[3]
利用绝缘体上硅制备悬空应变硅薄膜的方法 [P]. 
张苗 ;
张波 ;
王曦 ;
薛忠营 ;
魏星 ;
武爱民 .
中国专利 :CN101958271B ,2011-01-26
[4]
应变绝缘体上硅的形成方法 [P]. 
盖伊·M·科恩 ;
希尔科·H·克里斯蒂安森 .
中国专利 :CN100470724C ,2006-01-25
[5]
用于绝缘体上应变硅晶片上双重隔离的方法和装置 [P]. 
B.B.多里斯 ;
何虹 ;
A.卡基菲鲁兹 ;
王俊利 .
中国专利 :CN105870061B ,2016-08-17
[6]
全耗尽绝缘体上应变硅MOS器件及其制备方法 [P]. 
郝敏如 ;
王玉辰 ;
陈丹婷 ;
李嘉骏 ;
陈国祥 ;
吴华 .
中国专利 :CN119384008A ,2025-01-28
[7]
一种绝缘体上锗硅和应变硅材料的制备方法 [P]. 
魏星 ;
王湘 ;
杨建 ;
张苗 ;
王曦 ;
林成鲁 .
中国专利 :CN101901780A ,2010-12-01
[8]
一种基于绝缘体上应变硅纳米薄膜 [P]. 
赵莉民 .
中国专利 :CN109216429A ,2019-01-15
[9]
制作应变绝缘体上硅结构的方法及用此方法形成的绝缘体上硅结构 [P]. 
古川俊治 ;
查尔斯·W.·考伯格三世 ;
詹姆斯·A.·斯林科曼 .
中国专利 :CN1914722B ,2007-02-14
[10]
绝缘体上硅射频器件及其绝缘体上硅衬底 [P]. 
李乐 .
中国专利 :CN103035654B ,2013-04-10