三轴MEMS惯性传感器系统级封装单元结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620281114.2

申请日：

2016-04-05

公开(公告)号：

CN205898145U

公开(公告)日：

2017-01-18

发明(设计)人：

孙函子庄永河尚玉凤李鸿高李林森童洋王宁周婷沈时俊

申请人：

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区合欢路19号

IPC主分类号：

G01C2116

IPC分类号：

代理机构：

合肥天明专利事务所 34115

代理人：

金凯

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-18	授权	授权
2018-07-20	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):G01C 21/16 申请日:20160405 授权公告日:20170118 放弃生效日:20180710

共 50 条

[1]

三轴MEMS惯性传感器系统级封装单元结构 [P].

孙函子 ;

庄永河 ;

尚玉凤 ;

李鸿高 ;

李林森 ;

童洋 ;

王宁 ;

周婷 ;

沈时俊 .

中国专利 :CN105716606A ,2016-06-29

[2]

MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204675826U ,2015-09-30

[3]

具有应力隔离的MEMS惯性传感器封装结构 [P].

施芹 ;

裘安萍 ;

苏岩 .

中国专利 :CN201598171U ,2010-10-06

[4]

一种MEMS惯性传感器的封装结构 [P].

张廷凯 ;

王从亮 .

中国专利 :CN204434268U ,2015-07-01

[5]

一种三轴MEMS惯性传感器 [P].

黄晟 ;

魏晓莉 ;

蔡光艳 ;

罗戴钟 ;

丁铮 ;

蔡喜元 ;

王兵权 .

中国专利 :CN120970637A ,2025-11-18

[6]

MEMS惯性传感器、惯性测量单元及惯性导航系统 [P].

胡启方 ;

徐景辉 ;

李展信 ;

孙丰沛 .

中国专利 :CN113494908B ,2024-11-22

[7]

MEMS惯性传感器、惯性测量单元及惯性导航系统 [P].

胡启方 ;

徐景辉 ;

李展信 ;

孙丰沛 .

中国专利 :CN113494908A ,2021-10-12

[8]

一种MEMS惯性传感器芯片的封装结构 [P].

范黎明 .

中国专利 :CN222007319U ,2024-11-15

[9]

一种用于MEMS惯性传感器的封装结构 [P].

范黎明 .

中国专利 :CN214010344U ,2021-08-20

[10]

MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN104891418A ,2015-09-09

← 1 2 3 4 5 →