一种钼铝金属蚀刻液及其制备方法与蚀刻方法

被引：0

申请号：

CN202210347797.7

申请日：

2022-04-01

公开(公告)号：

CN114774922B

公开(公告)日：

2022-07-22

发明(设计)人：

李海涛何剑明

申请人：

申请人地址：

526200 广东省肇庆市四会市江谷镇精细化工区创业路1号甲类厂房编号5

IPC主分类号：

C23F120

IPC分类号：

C23F126

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

覃蛟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/20 申请日:20220401
2022-07-22	公开	公开
2022-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种铜蚀刻液及其制备方法与玻璃基板铜的蚀刻方法 [P].

杨志锋 ;

何剑明 ;

宋振 .

中国专利 :CN115786916B ,2025-10-31

[2]

铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

姜欣奕 ;

章学春 ;

衡京 ;

聂航 ;

刘明辉 .

中国专利 :CN119710702A ,2025-03-28

[3]

金属蚀刻液组合物及其蚀刻方法 [P].

颜子钧 ;

李家兴 ;

邱少华 ;

雷伯钧 ;

李森雄 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN102102206A ,2011-06-22

[4]

一种铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

刘伟 ;

杜冰 ;

刘文永 ;

张茂 ;

邱柱 ;

方磊 ;

赵建龙 ;

张兵 ;

向文胜 ;

朱坤 ;

陆兰 .

中国专利 :CN112663064A ,2021-04-16

[5]

一种钼铝共用蚀刻液及蚀刻方法 [P].

鄢艳华 ;

康威 .

中国专利 :CN109594079B ,2019-04-09

[6]

一种钼铝兼容蚀刻液及蚀刻方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN111270238A ,2020-06-12

[7]

一种铝钼蚀刻液及其制备方法 [P].

殷福华 ;

季文庆 ;

朱龙 ;

邵勇 ;

栾成 .

中国专利 :CN102534619A ,2012-07-04

[8]

一种钼铝蚀刻液及其制备方法 [P].

王丹宇 ;

李泰亨 ;

白晓鹏 ;

赵方方 ;

王泽 ;

陈红波 ;

董童威 .

中国专利 :CN117888108A ,2024-04-16

[9]

一种铜钼蚀刻液及其制备方法 [P].

钟昌东 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

刘悦 ;

黄锣锣 ;

黎鹏飞 ;

冯凯 ;

尹印 ;

王书萍 ;

万杨阳 ;

李金航 ;

李鑫 .

中国专利 :CN115418642A ,2022-12-02

[10]

一种金属蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

罗光洲 ;

罗先宇 .

中国专利 :CN117888109A ,2024-04-16

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