用于制造半导体器件的复合晶圆

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210545802.1
申请日
2012-12-14
公开(公告)号
CN103165625A
公开(公告)日
2013-06-19
发明(设计)人
A·康迪莫夫 J·拉姆德尼 K·斯瓦米纳坦
申请人
申请人地址
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
H01L2712
IPC分类号
H01L21762
代理机构
北京北翔知识产权代理有限公司 11285
代理人
杨勇;郑建晖
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
制造半导体器件的方法、复合晶圆和半导体器件 [P]. 
W·勒默特 ;
R·伯格 ;
A·布里纳 ;
H·布里施 ;
O·黑伯伦 ;
G·鲁尔 ;
R·拉普 .
中国专利 :CN105938794B ,2016-09-14
[2]
用于制造包括薄半导体晶圆的半导体器件的方法 [P]. 
W.贾尼施 ;
A.德维里伊斯 ;
S.马特蒂亚斯 .
中国专利 :CN107004578B ,2017-08-01
[3]
制造半导体晶圆的方法以及制造半导体器件的方法 [P]. 
J·弗伦德 ;
H·奥弗纳 ;
H-J·舒尔策 .
中国专利 :CN106571320B ,2017-04-19
[4]
半导体电路和器件制造方法、晶圆复合体和半导体器件 [P]. 
赫尔曼·格鲁贝尔 ;
约尔格·布施 ;
德里克·德比 ;
托马斯·菲舍尔 ;
丹尼尔·波尔沃尔 ;
马蒂亚斯·施密特 .
:CN117790417A ,2024-03-29
[5]
半导体晶圆和半导体器件 [P]. 
袁述 .
中国专利 :CN102637788B ,2012-08-15
[6]
用于制造半导体器件的方法 [P]. 
A.莫泽 ;
M.达伊内塞 ;
M.金勒 ;
H-J.舒尔策 .
中国专利 :CN109801876A ,2019-05-24
[7]
用于制造半导体器件的方法 [P]. 
A.莫泽 ;
M.达伊内塞 ;
M.金勒 ;
H-J.舒尔策 .
德国专利 :CN109801876B ,2024-07-16
[8]
用于制造半导体器件的虚拟晶圆技术 [P]. 
M·艾曼·谢比卜 ;
K·特里尔 .
中国专利 :CN111799174A ,2020-10-20
[9]
半导体复合晶圆及制造方法 [P]. 
万明 .
中国专利 :CN111952151A ,2020-11-17
[10]
半导体器件评估方法、半导体晶圆、半导体产品制造方法 [P]. 
小槻一贵 .
中国专利 :CN101364554B ,2009-02-11