制备高纯度多晶硅的方法与装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310036359.X

申请日：

2013-01-30

公开(公告)号：

CN103122482B

公开(公告)日：

2013-05-29

发明(设计)人：

陈红荣胡动力鄢俊琦

申请人：

申请人地址：

338000 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室

IPC主分类号：

C30B2806

IPC分类号：

C30B2906 C30B3302

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-20	授权	授权
2013-06-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101480524283 IPC(主分类):C30B 28/06 专利申请号:201310036359X 申请日:20130130
2013-05-29	公开	公开

共 50 条

[1]

高纯度多晶硅片的制备方法 [P].

王勇 .

中国专利 :CN106350865A ,2017-01-25

[2]

高纯度多晶硅的制造方法 [P].

船崎和则 ;

佐藤一臣 ;

宫尾秀一 .

中国专利 :CN104395236A ,2015-03-04

[3]

制备高纯度多晶硅的方法和设备 [P].

本·菲斯尔曼 ;

戴维·米克森 ;

约克·特索 .

中国专利 :CN102438945B ,2012-05-02

[4]

特高纯度的多晶硅物理提纯方法 [P].

余业芳 .

中国专利 :CN102476801A ,2012-05-30

[5]

一种制备高纯度多晶硅的方法 [P].

朱超 .

中国专利 :CN105063749B ,2015-11-18

[6]

高纯度多晶硅的制造装置及制造方法 [P].

并木伸明 .

中国专利 :CN101311113B ,2008-11-26

[7]

提高多晶硅纯度的方法 [P].

高召帅 ;

张天雨 ;

田新 ;

王海豹 .

中国专利 :CN114014322A ,2022-02-08

[8]

一种高纯度多晶硅铸锭坩埚 [P].

张冠纶 ;

曹韵国 ;

常青 ;

孙纤 .

中国专利 :CN206477057U ,2017-09-08

[9]

多晶硅的制备方法及多晶硅的制备设备 [P].

手计晶之 .

中国专利 :CN101495408A ,2009-07-29

[10]

多晶硅锭的制备方法 [P].

夏新中 ;

张莉沫 ;

张任远 ;

孟庆超 ;

陈志军 ;

张建旗 ;

刘莹 .

中国专利 :CN109023522A ,2018-12-18

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