n+‑GeSn/i‑GeSn/p+‑Ge结构光电探测器及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710104256.0
申请日
2017-02-24
公开(公告)号
CN107871800A
公开(公告)日
2018-04-03
发明(设计)人
乔丽萍
申请人
申请人地址
712081 陕西省咸阳市文汇东路6号西藏民族大学
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
H01L310232 H01L31028 H01L310352 H01L31105
代理机构
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230
代理人
刘长春
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
n+‑Si/i‑Ge/p+‑Ge结构PIN光电探测器及其制备方法 [P]. 
张洁 ;
宋建军 ;
包文涛 .
中国专利 :CN107785453A ,2018-03-09
[2]
GeSn光电探测器 [P]. 
张亮 .
中国专利 :CN107611192A ,2018-01-19
[3]
基于Ge/Si虚衬底的GeSn光电探测器及其制备方法 [P]. 
乔丽萍 .
中国专利 :CN107785454A ,2018-03-09
[4]
一种横向PiN结构GeSn光电探测器及其制备方法 [P]. 
张捷 .
中国专利 :CN107658364A ,2018-02-02
[5]
基于LRC工艺的n-Ge-i-Ge-p-Si结构波导型光电探测器及其制备方法 [P]. 
乔丽萍 .
中国专利 :CN107863399B ,2018-03-30
[6]
波导集成的GeSn光电探测器及其制造方法 [P]. 
汪巍 ;
方青 ;
涂芝娟 ;
曾友宏 ;
蔡艳 ;
王庆 ;
王书晓 ;
余明斌 .
中国专利 :CN110896112B ,2020-03-20
[7]
双本征Ge阻挡层GeSn合金PIN光电探测器 [P]. 
苗渊浩 ;
宋建军 ;
蒋道福 ;
胡辉勇 ;
宣荣喜 ;
舒斌 ;
张鹤鸣 .
中国专利 :CN107785452B ,2018-03-09
[8]
GeSn波导型单行载流子光探测器结构及其制备方法 [P]. 
舒斌 ;
朱佳迪 ;
张二同 ;
胡辉勇 ;
王利明 ;
李婉 .
中国专利 :CN113964213A ,2022-01-21
[9]
驰豫GeSn红外雪崩光电探测器及其制造方法 [P]. 
汪巍 ;
方青 ;
涂芝娟 ;
曾友宏 ;
蔡艳 ;
王庆 ;
王书晓 ;
余明斌 .
中国专利 :CN110797431A ,2020-02-14
[10]
基于Ge波导的GeSn红外光电探测器及其制造方法 [P]. 
汪巍 ;
方青 ;
涂芝娟 ;
曾友宏 ;
蔡艳 ;
余明斌 .
中国专利 :CN110729373B ,2020-01-24