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一种磁控溅射卷绕设备的镀膜室装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011622918.1
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN112853302A
公开(公告)日：
2021-05-28
发明(设计)人：
余荣沾
王忠雨
袁世成
张欣
于小杰
申请人：
申请人地址：
529399 广东省江门市开平市长沙区金章大道6号第1幢首层
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
C23C1435
代理机构：
北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙) 11664
代理人：
王一;张继鑫
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-28 | 公开 | 公开 |
| 2021-06-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20201231 |