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膜层光谱的实时测量装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN200620043654.3
申请日
:
2006-07-05
公开(公告)号
:
CN2916622Y
公开(公告)日
:
2007-06-27
发明(设计)人
:
高慧慧
朱美萍
肖连君
易葵
范正修
申请人
:
申请人地址
:
201800上海市800-211邮政信箱
IPC主分类号
:
G01N2117
IPC分类号
:
G01B1106
代理机构
:
上海新天专利代理有限公司
代理人
:
张泽纯
法律状态
:
专利权的终止
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2010-10-06
专利权的终止
未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101006307065 IPC(主分类):G01N 21/17 专利号:ZL2006200436543 申请日:20060705 授权公告日:20070627
2007-06-27
授权
授权
共 50 条
[1]
膜层光谱的实时测量装置及其测量方法
[P].
高慧慧
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高慧慧
;
朱美萍
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朱美萍
;
肖连君
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肖连君
;
易葵
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易葵
;
范正修
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范正修
.
中国专利
:CN1877298A
,2006-12-13
[2]
膜层厚度测量装置
[P].
焦阳
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
焦阳
;
严翔
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
严翔
;
闫晓晖
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
闫晓晖
;
丁丽真
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
丁丽真
.
中国专利
:CN223122176U
,2025-07-18
[3]
一种实时高效的非线性光谱特性测量装置
[P].
张霖
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张霖
;
马玉荣
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马玉荣
;
杨一
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杨一
;
任寰
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任寰
;
石振东
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石振东
;
马骅
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马骅
;
原泉
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原泉
;
冯晓璇
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冯晓璇
;
陈波
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陈波
;
杨晓瑜
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杨晓瑜
;
马可
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马可
;
李东
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李东
;
姜宏振
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姜宏振
;
刘勇
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刘勇
;
巴荣声
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巴荣声
;
周信达
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周信达
;
郑垠波
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郑垠波
.
中国专利
:CN205301164U
,2016-06-08
[4]
宽角度宽光谱的偏振分束膜特性的测量装置
[P].
徐学科
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徐学科
;
汤兆胜
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汤兆胜
;
范正修
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范正修
;
邵建达
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邵建达
.
中国专利
:CN2638044Y
,2004-09-01
[5]
宽角度宽光谱的偏振分束膜特性的测量装置
[P].
徐学科
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徐学科
;
汤兆胜
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汤兆胜
;
范正修
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范正修
;
邵建达
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邵建达
.
中国专利
:CN1475780A
,2004-02-18
[6]
矿热炉电极电流的实时测量装置
[P].
崔存生
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崔存生
.
中国专利
:CN204129111U
,2015-01-28
[7]
一种膜层切割装置及膜层厚度测量系统
[P].
杨驰
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杨驰
.
中国专利
:CN206160986U
,2017-05-10
[8]
膜层厚度测量方法及膜层厚度测量装置
[P].
刘公才
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刘公才
.
中国专利
:CN108981624A
,2018-12-11
[9]
一种紫外光谱的测量装置
[P].
董翊
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董翊
.
中国专利
:CN212082600U
,2020-12-04
[10]
波片相位延迟光谱特性的测量装置
[P].
张璐
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张璐
.
中国专利
:CN203178064U
,2013-09-04
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