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半导体结构及其制备方法、半导体装置
被引：0
申请号：
CN202210730095.7
申请日：
2022-06-24
公开(公告)号：
CN115116967A
公开(公告)日：
2022-09-27
发明(设计)人：
潘俊波
梁添
张雯
申请人：
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
IPC主分类号：
H01L218242
IPC分类号：
H01L27108
代理机构：
北京律智知识产权代理有限公司 11438
代理人：
孙宝海
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-27 | 公开 | 公开 |