一种晶片研磨装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201620789165.6
申请日
2016-07-26
公开(公告)号
CN206066202U
公开(公告)日
2017-04-05
发明(设计)人
刘砚斌 张富 郭全斌
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区经济技术开发区永昌南路2号
IPC主分类号
B24B3730
IPC分类号
B24B3710
代理机构
代理人
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种晶片研磨装置 [P]. 
周朱华 ;
王祖勇 .
中国专利 :CN208117546U ,2018-11-20
[2]
晶片研磨装置 [P]. 
张佳浩 ;
杨良 ;
曾柏翔 ;
李瑞评 ;
陈铭欣 .
中国专利 :CN216399206U ,2022-04-29
[3]
晶片研磨装置 [P]. 
张佳浩 ;
周志豪 ;
周光权 ;
李志宇 ;
曾柏翔 ;
李瑞评 .
中国专利 :CN217800996U ,2022-11-15
[4]
一种晶片研磨托盘支承装置 [P]. 
王树林 ;
张伟展 ;
宋志鹏 ;
周波 ;
杨志杰 ;
李辉 .
中国专利 :CN202079472U ,2011-12-21
[5]
一种晶片研磨加工装置 [P]. 
朱海军 ;
程金强 ;
杨杰 ;
郑杭峰 .
中国专利 :CN206185678U ,2017-05-24
[6]
一种晶片研磨盘 [P]. 
周一 ;
毕洪伟 ;
刘留 ;
苏小平 .
中国专利 :CN213054300U ,2021-04-27
[7]
一种晶片研磨装置 [P]. 
丛海涛 .
中国专利 :CN203390714U ,2014-01-15
[8]
一种晶片研磨装置 [P]. 
杨启付 ;
李天春 ;
李谦平 .
中国专利 :CN112757152A ,2021-05-07
[9]
一种晶片研磨装置 [P]. 
吴春龙 ;
周铁军 ;
毛伟文 ;
王金灵 ;
刘火阳 .
中国专利 :CN213673546U ,2021-07-13
[10]
一种晶片研磨装置 [P]. 
刘胜男 .
中国专利 :CN213970604U ,2021-08-17