一种适应性耦合等离子刻蚀机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420169755.X

申请日：

2014-04-09

公开(公告)号：

CN203910743U

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

张海洋张城龙

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01J3704

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	授权	授权
2020-03-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20140409 授权公告日:20141029 终止日期:20190409

共 50 条

[1]

一种适应性耦合等离子刻蚀机 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN203910744U ,2014-10-29

[2]

一种适应性耦合等离子刻蚀机 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN203787383U ,2014-08-20

[3]

一种等离子刻蚀机用等离子体耦合线圈 [P].

郭颂 ;

刘小波 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN209929073U ,2020-01-10

[4]

一种等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘海洋 ;

王铖熠 ;

李娜 ;

刘小波 ;

张军 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN211629034U ,2020-10-02

[5]

等离子刻蚀机 [P].

欧飞 ;

杨晓峰 ;

谌泽林 ;

刘学光 ;

万稳 .

中国专利 :CN105225989B ,2016-01-06

[6]

等离子刻蚀机 [P].

张小林 ;

白家均 ;

刘文慧 .

中国专利 :CN209216915U ,2019-08-06

[7]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973A ,2024-09-20

[8]

一种挡环装置、等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘小波 ;

陈兆超 ;

车东晨 ;

叶联 ;

刘磊 ;

刘海洋 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN117352355A ,2024-01-05

[9]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973B ,2025-06-17

[10]

一种等离子刻蚀机 [P].

孙显强 .

中国专利 :CN205944037U ,2017-02-08

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