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缺陷检查装置、缺陷检查方法以及计算机可读记录介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910030739.X
申请日：
2019-01-14
公开(公告)号：
CN110274908B
公开(公告)日：
2019-09-24
发明(设计)人：
池田泰之
栗田真嗣
申请人：
申请人地址：
日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东入南不动堂町801番地(邮编:600-8530)
IPC主分类号：
G01N2188
IPC分类号：
G01N21956
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
杨文娟;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-24 | 公开 | 公开 |
| 2022-01-11 | 授权 | 授权 |
| 2019-10-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20190114 |