一种原子层沉积设备和原子层沉积监测系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021704846.0

申请日：

2020-08-14

公开(公告)号：

CN212770950U

公开(公告)日：

2021-03-23

发明(设计)人：

林俊成黄致开

申请人：

申请人地址：

361000 福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区洪溪南路9号A栋102

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652

代理机构：

厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 35225

代理人：

温洁;李增进

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-23	授权	授权

共 50 条

[1]

原子层沉积设备 [P].

林俊成 ;

郭大豪 .

中国专利 :CN214088657U ,2021-08-31

[2]

原子层沉积方法和原子层沉积设备 [P].

古尔特基·S·桑赫 ;

特鲁格·特里·多恩 .

中国专利 :CN100346448C ,2005-10-26

[3]

原子层沉积设备 [P].

林俊成 ;

易锦良 ;

许雲齐 .

中国专利 :CN214400707U ,2021-10-15

[4]

原子层沉积设备 [P].

林俊成 ;

易锦良 ;

许雲齐 ;

姚信宇 .

中国专利 :CN214400708U ,2021-10-15

[5]

一种原子层沉积装置及原子层沉积设备 [P].

李哲峰 ;

乌磊 .

中国专利 :CN212335291U ,2021-01-12

[6]

原子层沉积设备 [P].

曹建伟 ;

朱凌锋 ;

陈培杰 ;

胡汉彦 ;

张华敏 ;

刘海博 ;

罗丹 .

中国专利 :CN221608192U ,2024-08-27

[7]

原子层沉积设备 [P].

王良栋 ;

陈金良 ;

宋维聪 ;

李文涛 .

中国专利 :CN222861631U ,2025-05-13

[8]

原子层沉积设备 [P].

曹建伟 ;

朱凌锋 ;

陈培杰 ;

胡汉彦 ;

罗丹 ;

张华敏 ;

刘海博 .

中国专利 :CN221480068U ,2024-08-06

[9]

原子层沉积设备 [P].

王祥慧 .

中国专利 :CN204080104U ,2015-01-07

[10]

原子层沉积设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN220846263U ,2024-04-26

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