一种掺铁激光晶体缺陷检测方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810437914.2

申请日：

2018-05-09

公开(公告)号：

CN108663381B

公开(公告)日：

2018-10-16

发明(设计)人：

潘其坤陈飞谢冀江张阔何洋于德洋

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G01N2195

IPC分类号：

代理机构：

深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人：

赵勍毅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-16	公开	公开
2018-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/95 申请日:20180509
2020-12-01	授权	授权

共 50 条

[1]

硅晶体缺陷检测方法 [P].

张兆民 .

中国专利 :CN107316822A ,2017-11-03

[2]

一种光学晶体缺陷检测方法及系统 [P].

李智 ;

刘永军 .

中国专利 :CN120404803A ,2025-08-01

[3]

晶体缺陷的检测方法与检测装置 [P].

郝宁 ;

王力 ;

俎世琦 .

中国专利 :CN114166171B ,2022-03-11

[4]

一种大口径晶体缺陷检测方法及装置 [P].

张鹏 ;

孙付仲 ;

卢礼华 ;

梁迎春 .

中国专利 :CN103808694B ,2014-05-21

[5]

基于机器视觉的晶体缺陷检测方法 [P].

郑东 ;

高翔 ;

宋百乐 ;

秦冒晓 .

中国专利 :CN120161068B ,2025-09-19

[6]

基于机器视觉的晶体缺陷检测方法 [P].

郑东 ;

高翔 ;

宋百乐 ;

秦冒晓 .

中国专利 :CN120161068A ,2025-06-17

[7]

一种基于显微成像的氧化镓晶体缺陷检测方法及系统 [P].

杨金枝 ;

王强 .

中国专利 :CN120971386A ,2025-11-18

[8]

一种硅衬底内部的硅晶体缺陷的检测方法 [P].

华佑南 ;

李晓旻 .

中国专利 :CN111220636A ,2020-06-02

[9]

晶体缺陷的检测方法及晶棒生长方法 [P].

薛忠营 ;

栗展 ;

刘赟 .

中国专利 :CN114280069B ,2024-07-19

[10]

碳化硅单晶体缺陷的检测方法和系统 [P].

申雪珍 ;

邹宇 ;

张平 ;

娄艳芳 ;

彭同华 ;

刘春俊 ;

杨建 .

中国专利 :CN118443702A ,2024-08-06

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