硅光芯片的测试方法及设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910461940.3
申请日
2019-05-30
公开(公告)号
CN112098768B
公开(公告)日
2020-12-18
发明(设计)人
蔡艳 汪巍 涂芝娟 曾友宏 余明斌
申请人
申请人地址
201800 上海市嘉定区城北路235号1号楼
IPC主分类号
G01R3101
IPC分类号
G01M1102 G01R104
代理机构
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人
孙佳胤
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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[10]
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