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半导体器件的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010192517.7
申请日：
2010-06-04
公开(公告)号：
CN102270575A
公开(公告)日：
2011-12-07
发明(设计)人：
沈满华
张海洋
申请人：
申请人地址：
201203 上海市张江路18号
IPC主分类号：
H01L2128
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅;李时云
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-12-07 | 公开 | 公开 |
| 2013-08-07 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101648871580 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2010101925177 申请公布日:20111207 |
| 2012-01-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101174911305 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2010101925177 申请日:20100604 |