微波等离子体处理装置的顶板、等离子体处理装置以及等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980105252.8

申请日：

2009-02-10

公开(公告)号：

CN101953236A

公开(公告)日：

2011-01-19

发明(设计)人：

田才忠石桥清隆野泽俊久

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L213065

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

柳春雷;南霆

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-19	公开	公开
2011-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101056897758 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2009801052528 申请日:20090210
2014-06-04	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101701350112 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2009801052528 申请公布日:20110119

共 50 条

[1]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

具滋明 ;

肖特拉克尔言 ;

具重谟 ;

赵台勋 .

韩国专利 :CN112151344B ,2024-07-09

[2]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

具滋明 ;

肖特拉克尔言 ;

具重谟 ;

赵台勋 .

中国专利 :CN112151344A ,2020-12-29

[3]

微波等离子体处理装置及等离子体处理控制方法 [P].

大见忠弘 ;

平山昌树 ;

须川成利 ;

后藤哲也 .

中国专利 :CN1242656C ,2004-05-26

[4]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

奥村智洋 ;

川浦广 .

中国专利 :CN104641730A ,2015-05-20

[5]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

舆水地盐 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

山涌纯 ;

饭塚八城 .

中国专利 :CN102054649A ,2011-05-11

[6]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

武藤悟 ;

小野哲郎 ;

大越康雄 ;

永德宏文 .

中国专利 :CN104103486B ,2014-10-15

[7]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

里吉务 .

中国专利 :CN1477682A ,2004-02-25

[8]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

森本未知数 ;

大越康雄 ;

大平原勇造 ;

小野哲郎 .

中国专利 :CN103632914A ,2014-03-12

[9]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

久保田绅治 .

中国专利 :CN107452589B ,2017-12-08

[10]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

舟久保隆男 ;

芳贺博文 ;

狐塚慎一 ;

小澤亘 ;

坂本晃浩 ;

谷口直树 ;

辻本宏 ;

大野久美子 .

中国专利 :CN105225913B ,2016-01-06

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