凹槽掩模版的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110926627.X

申请日：

2021-08-12

公开(公告)号：

CN113641078A

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

王栋谢超侯广杰

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房一楼

IPC主分类号：

G03F180

IPC分类号：

G03F168 G03F720

代理机构：

深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331

代理人：

欧志明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/80 申请日:20210812
2021-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

图形转移方法和掩模版制作方法 [P].

朴世镇 .

中国专利 :CN101989046A ,2011-03-23

[2]

掩模版的形成方法及掩模版 [P].

姚军 ;

曹清晨 ;

刘峻 ;

胡小龙 ;

高峰 .

中国专利 :CN109752930A ,2019-05-14

[3]

掩模版的显影方法以及掩模版的显影装置 [P].

侯广杰 ;

叶小龙 .

中国专利 :CN112506010A ,2021-03-16

[4]

一种灰度掩模版及其制作方法 [P].

王辉 .

中国专利 :CN117826521A ,2024-04-05

[5]

一种灰度掩模版及其制作方法 [P].

王辉 ;

王雷 ;

张雪 .

中国专利 :CN118011724A ,2024-05-10

[6]

一种掩模板的制作方法 [P].

李春兰 ;

洪志华 ;

戴海哲 ;

谭景霞 ;

熊启龙 ;

邓振玉 .

中国专利 :CN101916039A ,2010-12-15

[7]

掩模版及其制备方法 [P].

罗先刚 ;

赵博文 ;

高平 ;

张涛 ;

尹邦超 ;

徐建东 ;

程官于行 .

中国专利 :CN120255265A ,2025-07-04

[8]

相移掩模的制作方法 [P].

居碧玉 ;

栾会倩 ;

张丽娜 ;

王影 ;

王奇 .

中国专利 :CN113589641A ,2021-11-02

[9]

相移掩模的制作方法 [P].

居碧玉 ;

栾会倩 ;

张丽娜 ;

王影 ;

王奇 .

中国专利 :CN113589641B ,2024-03-19

[10]

林岳明 ;

季明华 .

中国专利 :CN114755898A ,2022-07-15

← 1 2 3 4 5 →