一种研磨定盘、研磨装置及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811611799.2

申请日：

2018-12-27

公开(公告)号：

CN109465740A

公开(公告)日：

2019-03-15

发明(设计)人：

姜镕

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

B24B3734 B24B5502 B24B100

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

黄灿;李东玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/00 申请日:20181227
2019-03-15	公开	公开
2021-04-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 37/00 申请公布日:20190315

共 50 条

[1]

研磨夹具、研磨装置及研磨方法 [P].

若林亮太 .

中国专利 :CN112930247A ,2021-06-08

[2]

研磨轮、研磨装置及研磨方法 [P].

张燕斌 ;

李海博 ;

邓晓聪 ;

卫宏毅 ;

徐天宇 ;

边婉丽 ;

刘锋 .

中国专利 :CN108818297A ,2018-11-16

[3]

研磨垫、研磨方法及研磨装置 [P].

中川泰忠 ;

小池荣二郎 .

中国专利 :CN101045290A ,2007-10-03

[4]

研磨装置、研磨头及研磨方法 [P].

北桥正光 ;

龟井利之 ;

武田英俊 ;

德永祐之 ;

田尻知朗 .

中国专利 :CN1684800A ,2005-10-19

[5]

基板研磨装置、基板研磨方法、研磨装置及研磨方法 [P].

吉田笃史 ;

石井游 ;

中西正行 .

日本专利 :CN119212826A ,2024-12-27

[6]

研磨监视方法、研磨方法、研磨监视装置及研磨装置 [P].

小林洋一 .

中国专利 :CN104907921B ,2015-09-16

[7]

研磨监视方法、研磨方法、研磨监视装置及研磨装置 [P].

小林洋一 .

中国专利 :CN102194690A ,2011-09-21

[8]

研磨方法及研磨装置 [P].

八木圭太 ;

渡边夕贵 ;

佐佐木俊光 .

中国专利 :CN109702560A ,2019-05-03

[9]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊东伴 ;

本岛靖之 ;

尹昇镐 ;

鱼住修司 ;

三浦骏平 ;

松尾尚典 ;

铃木宪一 .

中国专利 :CN115302398A ,2022-11-08

[10]

研磨装置及研磨方法 [P].

外崎宏 ;

陈柏翰 ;

曾根忠一 .

日本专利 :CN110802519B ,2024-05-14

← 1 2 3 4 5 →