浅沟槽隔离方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310263816.9

申请日：

2013-06-26

公开(公告)号：

CN104253080A

公开(公告)日：

2014-12-31

发明(设计)人：

谭宇琦

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

邓云鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-31	公开	公开
2019-09-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/762 申请公布日:20141231
2015-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101596397511 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013102638169 申请日:20130626

共 50 条

[1]

一种浅沟槽隔离结构的制作方法和浅沟槽隔离结构 [P].

邓浩 ;

向阳辉 ;

张彬 .

中国专利 :CN103594412A ,2014-02-19

[2]

浅沟槽隔离 [P].

李霞 ;

金明初 .

中国专利 :CN102113111A ,2011-06-29

[3]

形成浅沟槽隔离区的方法 [P].

夏雁宾 ;

杨玲 ;

张飞 .

中国专利 :CN103681448A ,2014-03-26

[4]

浅沟槽隔离结构的制造方法 [P].

韩秋华 ;

杜珊珊 ;

黄怡 ;

赵林林 .

中国专利 :CN101770974A ,2010-07-07

[5]

浅沟槽隔离结构 [P].

宛伟 .

中国专利 :CN208706616U ,2019-04-05

[6]

浅沟槽隔离结构制备方法 [P].

江润峰 .

中国专利 :CN103531522A ,2014-01-22

[7]

浅沟槽隔离的制备方法 [P].

桑宁波 ;

雷通 ;

贺忻 ;

方精训 .

中国专利 :CN104051321A ,2014-09-17

[8]

一种减少浅沟槽隔离缺陷的方法 [P].

徐强 ;

张文广 ;

陈玉文 ;

郑春生 .

中国专利 :CN102610551A ,2012-07-25

[9]

浅沟槽隔离制造方法 [P].

唐兆云 ;

闫江 ;

杨涛 ;

王桂磊 .

中国专利 :CN103633008B ,2014-03-12

[10]

制造浅沟槽隔离的方法以及使用浅沟槽隔离的半导体结构 [P].

颜君旭 ;

黄邦育 ;

彭垂亚 ;

陈静雯 .

中国专利 :CN105931982B ,2016-09-07

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