一种真空镀膜掺杂靶材及其制作方法及真空镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710703588.0

申请日：

2017-08-16

公开(公告)号：

CN107299326A

公开(公告)日：

2017-10-27

发明(设计)人：

陈立吴德生朱得菊

申请人：

申请人地址：

516600 广东省汕尾市市区工业大道信利工业城一区第15栋

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王宝筠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20170816
2020-10-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20171027
2017-10-27	公开	公开

共 50 条

[1]

真空镀膜靶材 [P].

进藤孝明 ;

中村肇 ;

石野耕司 ;

宇佐美达巳 ;

松田麻也子 .

中国专利 :CN300825422D ,2008-09-03

[2]

真空镀膜装置及其真空镀膜方法 [P].

熊丹 .

中国专利 :CN104120399A ,2014-10-29

[3]

真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194366A ,2024-12-27

[4]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

[5]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194364A ,2024-12-27

[6]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775A ,2024-07-02

[7]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈益钢 ;

程竞经 .

中国专利 :CN111575652A ,2020-08-25

[8]

真空镀膜系统及真空镀膜方法 [P].

赵子铭 ;

李博研 ;

钟大龙 ;

赵明 .

中国专利 :CN117551977A ,2024-02-13

[9]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

戴晓东 ;

余海春 ;

杨启忠 .

中国专利 :CN118621290A ,2024-09-10

[10]

一种真空镀膜设备及其真空镀膜方法 [P].

龙巍 .

中国专利 :CN110699644B ,2020-01-17

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