共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2001-05-02 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2001-02-07 | 公开 | 公开 |
| 2004-08-25 | 授权 | 授权 |
| 2017-12-08 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 29/861 申请日:19981014 授权公告日:20040825 终止日期:20161014 |