基板清洗装置及基板清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610100040.9

申请日：

2006-06-27

公开(公告)号：

CN1891358A

公开(公告)日：

2007-01-10

发明(设计)人：

萩原武弘片冈辰雄野田清治中井隆文

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B08B310

IPC分类号：

B08B300

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-07-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003370105 IPC(主分类):B08B 3/10 专利申请号:2006101000409 公开日:20070110
2008-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-01-10	公开	公开

共 50 条

[1]

基板清洗装置和基板清洗方法 [P].

岛井太 ;

河田茂 .

中国专利 :CN1575870A ,2005-02-09

[2]

玻璃基板清洗装置及玻璃基板清洗方法 [P].

西村直树 ;

奥村弘和 .

中国专利 :CN101060938B ,2012-10-31

[3]

基板清洗装置、显影机及基板清洗方法 [P].

徐毕龙 .

中国专利 :CN108787672A ,2018-11-13

[4]

基板清洗辊、基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN107078046A ,2017-08-18

[5]

基板清洗方法及基板清洗装置 [P].

日野出大辉 ;

逸见昂史 ;

太田乔 ;

中西恭平 ;

中泽和彦 .

中国专利 :CN114649193A ,2022-06-21

[6]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

圆山洋介 .

中国专利 :CN115083947A ,2022-09-20

[7]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

中村一树 ;

冈田吉文 ;

冲田展彬 .

日本专利 :CN117747489A ,2024-03-22

[8]

基板清洗方法及基板清洗装置 [P].

岩元勇人 ;

足立训章 .

中国专利 :CN101314159A ,2008-12-03

[9]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN107148665A ,2017-09-08

[10]

基板清洗方法及基板清洗装置 [P].

佐藤雅伸 .

中国专利 :CN102057468A ,2011-05-11

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