低污染光学布置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980138884.4

申请日：

2009-08-11

公开(公告)号：

CN102171617A

公开(公告)日：

2011-08-31

发明(设计)人：

关彦彬史蒂芬·泽尔特

申请人：

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

邱军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-02	授权	授权
2011-08-31	公开	公开
2011-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101144112628 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2009801388844 申请日:20090811

共 50 条

[1]

低污染耐久纸盒印刷装置 [P].

李利惠 .

中国专利 :CN217124269U ,2022-08-05

[2]

光学元件、光学布置及系统 [P].

D·菲奥尔卡 ;

M·德格恩特尔 .

中国专利 :CN101793993A ,2010-08-04

[3]

一种低污染垃圾分类房 [P].

吴爱明 ;

罗俊 ;

余梦醒 ;

吴义林 .

中国专利 :CN221478391U ,2024-08-06

[4]

能去除光学元件制造缺陷的低污染离子束加工方法及装置 [P].

郝群 ;

石峰 ;

陈梦璐 ;

胡摇 ;

彭星 ;

魏志鹏 ;

巩保启 ;

田野 ;

郭双鹏 .

中国专利 :CN121223617A ,2025-12-30

[5]

光学元件和具有光学元件的光学布置 [P].

H-J.保罗 ;

B.比特纳 ;

N.瓦布拉 ;

T.希克坦兹 .

中国专利 :CN106104317A ,2016-11-09

[6]

一种低污染的露点仪 [P].

史衍忠 .

中国专利 :CN208488400U ,2019-02-12

[7]

检查装置的光学布置 [P].

P·V·凯尔卡 ;

J·L·克鲁泽 .

中国专利 :CN111164514B ,2020-05-15

[8]

EUV光刻的光学布置 [P].

N.贝尔 ;

T.格鲁纳 ;

U.洛林 .

中国专利 :CN104081284A ,2014-10-01

[9]

光学元件的保持布置 [P].

乌尔里克.韦伯 ;

阿明.舍帕克 ;

赫伯特.霍尔德尔 .

中国专利 :CN102549469A ,2012-07-04

[10]

光学元件的保持布置 [P].

乌尔里克.韦伯 ;

赫伯特.霍尔德尔 .

中国专利 :CN102549468B ,2012-07-04

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