检查装置的光学布置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880063039.4

申请日：

2018-09-14

公开(公告)号：

CN111164514B

公开(公告)日：

2020-05-15

发明(设计)人：

P·V·凯尔卡 J·L·克鲁泽

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

傅远

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180914
2020-05-15	公开	公开
2023-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

光学元件的检查装置和光学元件的检查方法 [P].

北林雅志 ;

高户雄二 .

中国专利 :CN1220905C ,2003-03-26

[2]

光学托架的检查装置以及光学托架的检查方法 [P].

河野博夫 ;

加贺美有一 .

中国专利 :CN101895662A ,2010-11-24

[3]

光学检查装置、透镜以及光学检查方法 [P].

井川喜博 ;

千叶博伸 ;

上野善弘 .

中国专利 :CN108291854A ,2018-07-17

[4]

光学元件的保持布置 [P].

乌尔里克.韦伯 ;

阿明.舍帕克 ;

赫伯特.霍尔德尔 .

中国专利 :CN102549469A ,2012-07-04

[5]

光学检查设备和光学检查系统 [P].

西胁正行 ;

春山弘司 .

中国专利 :CN104034508A ,2014-09-10

[6]

光学检查装置和光学检查方法 [P].

李炯珍 .

韩国专利 :CN118533852A ,2024-08-23

[7]

光学摄像装置、光学检查装置以及光学检查方法 [P].

大野博司 .

中国专利 :CN114441529A ,2022-05-06

[8]

光学摄像装置、光学检查装置以及光学检查方法 [P].

大野博司 .

日本专利 :CN114441529B ,2024-07-16

[9]

检查探针、光学屏的检查装置、光学屏的检查方法 [P].

山岸英一 ;

前田晃利 .

中国专利 :CN1815304A ,2006-08-09

[10]

光学检查方法、光学检查程序、处理装置以及光学检查装置 [P].

大野博司 ;

加纳宏弥 ;

神川卓大 ;

冈野英明 ;

大野启文 ;

川崎晃生 ;

吉川寿广 .

日本专利 :CN115809978B ,2025-11-07

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