一种花篮硅片顶升机构

被引：0

申请号：

CN202122809429.3

申请日：

2021-11-16

公开(公告)号：

CN216671586U

公开(公告)日：

2022-06-03

发明(设计)人：

林佳继周欢时祥

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283

代理人：

董世博

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种花篮顶升移栽换线机构 [P].

苏金财 ;

陈春芙 ;

陈震宇 .

中国专利 :CN221439546U ,2024-07-30

[2]

一种硅片顶升机构 [P].

沈晓琪 ;

姚正辉 .

中国专利 :CN213184218U ,2021-05-11

[3]

一种硅片顶升梳齿机构 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

贾宇鹏 .

中国专利 :CN207068899U ,2018-03-02

[4]

一种花篮及用于硅片装卸的机构 [P].

周公庆 ;

周华 ;

马列 .

中国专利 :CN222785269U ,2025-04-22

[5]

一种石英舟硅片顶升机构 [P].

沈晓琪 ;

朱斌 ;

张立 ;

李亚康 .

中国专利 :CN211929467U ,2020-11-13

[6]

一种新型顶升机构 [P].

郭庆荣 ;

李矿峰 ;

冯亮亮 ;

齐丹丹 ;

陈醒 .

中国专利 :CN216336362U ,2022-04-19

[7]

一种花键同步顶升机构 [P].

卢兴中 ;

陈红光 .

中国专利 :CN215048408U ,2021-12-07

[8]

一种花篮抛动机构及硅片清洗线 [P].

郑华朋 ;

杜伟 ;

王先亮 ;

赵文强 ;

孙振宇 .

中国专利 :CN223264408U ,2025-08-26

[9]

一种花篮及硅片清洗设备 [P].

马小龙 ;

张璞 ;

杨文斌 ;

王浩 ;

杨波 ;

张喜存 .

中国专利 :CN217444347U ,2022-09-16

[10]

移动顶升机构 [P].

景余祥 ;

吴士春 ;

高翔 ;

李明和 .

中国专利 :CN222989149U ,2025-06-17

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