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具有对焦机构的直写光刻装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200710132530.1
申请日：
2007-09-19
公开(公告)号：
CN101126905B
公开(公告)日：
2008-02-20
发明(设计)人：
刘文海
申请人：
申请人地址：
230001 安徽省合肥市经济技术开发区乡村花园会所二楼
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
H01L21027
代理机构：
合肥金安专利事务所 34114
代理人：
金惠贞
法律状态：
专利权的保全及其解除
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-12-28 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101744126409 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007101325301 申请日:20070919 授权公告日:20111207 登记生效日:无 解除日:20161124 |
| 2018-08-07 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20070919 授权公告日:20111207 解除日:20180524 |
| 2019-01-25 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20070919 授权公告日:20111207 终止日期:20170919 |
| 2011-12-07 | 授权 | 授权 |
| 2017-07-21 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101755434527 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007101325301 申请日:20070919 授权公告日:20111207 登记生效日:无 解除日:20170524 |
| 2010-10-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006285162 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2007101325301 申请日:20070919 |
| 2016-12-28 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101744126410 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007101325301 申请日:20070919 授权公告日:20111207 登记生效日:20161124 解除日:无 |
| 2017-07-21 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101755434528 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007101325301 申请日:20070919 授权公告日:20111207 登记生效日:20170524 解除日:无 |
| 2016-01-13 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101726612993 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007101325301 申请日:20070919 授权公告日:20111207 登记生效日:20151124 解除日:无 |
| 2008-02-20 | 公开 | 公开 |