综合式直写光刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710022638.5

申请日：

2007-05-23

公开(公告)号：

CN100561356C

公开(公告)日：

2007-10-17

发明(设计)人：

刘文海刘军胡亦宁杨丹宁

申请人：

申请人地址：

230001安徽省合肥市经济技术开发区乡村花园会所二楼

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

合肥金安专利事务所

代理人：

金惠贞

法律状态：

专利权的保全及其解除

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

综合式直写光刻装置 [P].

刘文海 ;

刘军 ;

胡亦宁 ;

杨丹宁 .

中国专利 :CN201083959Y ,2008-07-09

[2]

直写光刻装置 [P].

刘文海 ;

刘军 ;

胡亦宁 ;

杨丹宁 .

中国专利 :CN201083960Y ,2008-07-09

[3]

具有对焦机构的直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN201083961Y ,2008-07-09

[4]

具有对焦机构的直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN101126905B ,2008-02-20

[5]

具有对焦机构的新型直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN101158817A ,2008-04-09

[6]

具有对焦机构的新型直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN201097106Y ,2008-08-06

[7]

一种多工件台直写光刻系统 [P].

曹旸 ;

李阳 .

中国专利 :CN104375388B ,2015-02-25

[8]

飞秒激光直写与DMD无掩模光刻复合加工方法 [P].

刘华 ;

谭明月 .

中国专利 :CN113126453A ,2021-07-16

[9]

一种缩短曝光时间的直写光刻装置 [P].

王伟 .

中国专利 :CN210954610U ,2020-07-07

[10]

主动对焦机构、光路系统及激光直写光刻机 [P].

莫阳 .

中国专利 :CN106773538A ,2017-05-31

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-21	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101755436169 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007100226385 申请日:20070523 授权公告日:20091118 登记生效日:无解除日:20170524
2017-07-21	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101755436170 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007100226385 申请日:20070523 授权公告日:20091118 登记生效日:20170524 解除日:无
2007-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-11-18	授权	授权
2019-10-18	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:芯硕半导体(合肥)有限公司变更后:合肥芯硕半导体有限公司变更事项:地址变更前:230001 安徽省合肥市经济技术开发区乡村花园会所二楼变更后:230601 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道北、习友路东
2017-01-04	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101744289515 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007100226385 申请日:20070523 授权公告日:20091118 登记生效日:无解除日:20161124
2015-12-30	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101726141818 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007100226385 申请日:20070523 授权公告日:20091118 登记生效日:20151124 解除日:无
2018-08-24	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20070523 授权公告日:20091118 解除日:20180524
2019-10-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20191009 变更事项:专利权人变更前权利人:合肥芯硕半导体有限公司变更后权利人:中夏芯基（上海）科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:230601 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道北、习友路东变更后权利人:200120 上海市浦东新区自由贸易试验区科苑路151号3楼B30室
2007-10-17	公开	公开
2017-01-04	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101744317800 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007100226385 申请日:20070523 授权公告日:20091118 登记生效日:20161124 解除日:无